精密零件加工精度以納米，甚至最后以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時(shí)，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零件加工的方法，即應用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯(lián)合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著(zhù)、聯(lián)合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬于這類(lèi)加工的有機械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等

我們把精密機械加工分為以下四個(gè)階段：

一、先面后孔

對于箱體、支架和連桿等零件應先加工平面后加工孔。這樣就可以以平面定位加工孔，保證平面和孔的位置精度，而且對平面上的孔的加工帶來(lái)方便。

二、先加工基準面

零件在加工過(guò)程中，作為定位基準的表面應首先加工出來(lái)，以便盡快為后續工序的加工提供精基準。稱(chēng)為“基準先行”。

三、光整加工

主要表面的光整加工（如研磨、珩磨、精磨\滾壓加工等），應放在工藝路線(xiàn)最后階段進(jìn)行，加工后的表面光潔度在Ra0.9um以上，輕微的碰撞都會(huì )損壞表面，在日本、德國等國家，在光整加工后，都要用絨布進(jìn)行保護，絕對不準用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。

四、劃分加工階段

加工質(zhì)量要求高的表面，都劃分加工階段，一般可分為粗加工、半精加工和精加工三個(gè)階段。主要是為了保證加工質(zhì)量；有利于合理使用設備；便于安排熱處理工序；以及便于時(shí)發(fā)現毛坯缺陷等。